Вакуумная техника для научных и индустриальных задач

Течеискатель VS PD03

всего за 1 099 000 руб!

Условия акции →

+7 495 259-68-14

Обратный звонок

В настоящее время в процессах производства широко распространена технология нанесения функциональных покрытий на поверхностях деталей или инструментов. Типы покрытий могут быть различны: электропроводящие или изолирующие, износостойкие и антизадирные, антифрикционные, декоративные, упрочняющие и т.д. В микроэлектронике способом нанесения покрытий формируют токопроводящие слои (металлизация), а в оптике — отражающие элементы. Одно из изделий, в производстве которого применяют нанесение покрытий вы можете видеть перед собой ежедневно. Это современный LCD монитор, в котором методом напыления формируют прозрачные проводящие слои.

Способов формирования покрытий известно немало. Одним из них является способ вакуумного напыления, при использовании которого часто применяются диффузионные насосы, станции Рутса, а также турбомолекулярные насосы.

Диффузионные высоковакуумные насосы Agilent
Диффузионные насосы
Станции Рутса
Станции Рутса
Турбомолекулярные высоковакуумные насосы Agilent
Турбомолекулярные насосы

Давайте рассмотрим процессы нанесения покрытий подробнее.

Нанесение покрытий

Строго говоря, нанесение покрытий на изделия с применением вакуумной техники включает в себя различные методики. Таковыми являются способы вакуумно-дугового нанесения, термического напыления, эпитаксия и пр. Для нас важно, что все перечисленные методики (список, разумеется, далеко не исчерпывающий) имеют следующие преимущества:

  • нанесение покрытий производится в особо чистых условиях, поскольку использование вакуума позволяет практически полностью исключить загрязнение материала и подложки.
  • в одном технологическом цикле можно осуществлять нанесение нескольких слоев покрытия и создавать комбинированные, многослойные покрытия из различных материалов.
  • отсутствие или минимальное присутствие вредных, неблагоприятных в экологическом плане химически активных веществ в процессе нанесения покрытия.
  • высокая производительность процесса нанесения.

Помимо вышеперечисленного, создание вакуума в рабочей камере позволяет избавиться от такого неприятного процесса, как окисление металлов при их нагреве до высоких температур.

Рассмотрим вкратце физический принцип одного из методов вакуумного нанесения покрытий — термического напыления.

Термическое напыление

Термическое напыление, основано, по сути, на очень простом физическом принципе: испарение нагретого исходного материала (например, алюминия) и последующей конденсации данного материала на целевом изделии (подложке). Для чего же в данном случае необходим вакуум?

При создании вакуума (на уровне среднего и высокого) мы обеспечиваем большую длину пробега испаряемых молекул, то есть они, практически, не сталкиваются между собой и молекулами газа в атмосфере камеры, и свободно достигают подложки, формируя плотный напыляемый слой. Таким образом, чистота и качество нанесения будет зависеть не только от качества исходного материала, но и в значительной степени от качества вакуума. Не обеспечив высокий вакуум в рабочей камере, мы рискуем получить в итоге неоднородное, пористое, шероховатое и не равномерное покрытие. Химический состав покрытия будет также отличаться от исходного материала, поскольку именно вакуум, как мы говорили выше, обеспечивает отсутствие образования оксидов. Создание высокого вакуума в рабочей камере обеспечивают, в качестве форвакуумных насосов станции Рутса, а для создания высокого вакуума применяют диффузионные или турбомолекулярные насосы.

Станции Рутса представляют собой комбинацию агрегата Рутса (не имеющего масла в рабочей камере) и пластинчато-роторного (маслоуплотнённого) насоса. В рабочей камере насоса Рутса масла не требуется, поскольку роторы, вращающиеся навстречу друг другу, не соприкасаясь вследствие наличия небольшого зазора между ними.

Вакуумные станции Рутса производства компании Agilent просты в использовании и обслуживании, обладают высоким рабочим ресурсом и идеальны в комбинации с диффузионными и производительным турбомолекулярными насосами Agilent.

Сформировать предложение:


Имя * Введите имя
Фамилия * Введите фамилию
Отчество Введен недействительный тип данных
E-mail * Введите емайл
Телефон * Допустимы только цифры
Организация * Введите название организации
Сообщение Введите сообщение
Введите код с картинки * Введите код с картинки
  Перезагрузить Введен недействительный тип данных

Анонсы

  • С 16 по 18 апреля MILLAB примет участие в выставке VacuumTechExpo 2019. Приглашаем вас посетить наш стенд А 307!

    Подробнее
  • Компания MILLAB уже традиционно будет принимать участие в международной выставке «Термообработка», посвященной оборудованию и технологиям термообработки материалов.

    Подробнее
Все новости и анонсы