Вакуумная техника для научных и индустриальных задач

+7 495 259-68-14

Обратный звонок

Учёные, инженеры и исследователи часто сталкиваются с ситуацией, когда разрешающей способности оптического микроскопа становится для них недостаточно. Например, при работе с современными микрочипами, когда необходимо исследовать элементы, находящиеся на поверхности кремниевой пластины, при изучении микротрещин на поверхности металла, возникающих после проведения испытаний на прочность или в процессе изучения микропористых структур различных материалов.

В этом случае на помощь приходит более совершенная техника — электронный микроскоп. Однако не зависимо от того, какой тип электронной микроскопии выбран: с использованием просвечивающего или растрового электронного микроскопа, прибор обязательно должен быть оснащён вакуумной системой. В большинстве случаев образцы, подлежащие исследованию с помощью электронной микроскопии, должны наблюдаться под вакуумом, так как молекулы воздуха будут рассеивать электроны. В целом можно сказать, что вакуумная система служит для увеличения длины свободного пробега электронов (уменьшения частоты столкновений электронов с атомами газа до незначительного уровня) и предотвращения возникновения электрической дуги.

Основным элементом вакуумной системы электронного микроскопа является вакуумный насос. Причём используют несколько типов насосов для каждой ступени вакуумной системы.

Спиральные вакуумные насосы Agilent
Спиральные насосы
Турбомолекулярные вакуумные насосы Agilent
Турбомолекулярные насосы
Ионные вакуумные насосы Agilent
Ионные насосы

Первая ступень служит для достижения давления, необходимого для работы насоса следующей ступени, который, в свою очередь, служит для создания более высокого вакуума. На первой ступени вакуумной системы используют, как правило, спиральные безмасляные насосы. Спиральные вакуумные насосы обеспечивают полностью безмасляный вакуум. обеспечивают высокую производительность при малых размерах, имеют низкий уровень вибраций и шума, а так же компактные размеры и вес.

Таким образом, спиральные насосы обеспечивают создание форвакуума перед включением высоковакуумных насосов.

После создания в камере образцов электронного микроскопа среднего вакуума в работу вступает вторая ступень вакуумной системы. Здесь, для создания высокого и сверхвысокого вакуума используют соответственно турбомолекулярные и ионные насосы.

Турбомолекулярные насосы используются для создания безмасляного вакуума, имеют время запуска менее 1 минуты, частоту вращения до 80000 об/мин, скорость откачки от 77 л/с и до 6000 л/с (по азоту) и удовлетворяют высоким требованиями, предъявляемым к данному типу оборудования, обеспечивая вакуум вплоть до 10-10 мбар. Наличие дополнительных аксессуаров, таких как датчики, водяное/воздушное охлаждение, различные контроллеры позволяют пользователю осуществить подбор оборудования, полностью удовлетворяющего его задачам.

После того как ячейка электронного микроскопа (небольшая камера с помещённым в неё образцом) откачена турбомолекулярным насосом до давления ниже 10-8 мбар включается ионный насос. При этом клапан перед турбомолекулярным насосом закрывается и он отключается. Применение ионных насосов позволяет достигнуть и поддерживать сверхвысокий вакуум в ячейке электронного микроскопа. Несмотря на простоту эксплуатации, ионные насосы серии Vaclon Plus (специальной серии для электронной микроскопии) обеспечивают сверхвысокий вакуум порядка 10-11 мбар и выше. Ионные насосы Agilent позволяют эффективно откачивать инертные и непоглощаемые газы, например, такие как аргон и метан.

При работе со сверхвысоким вакуумом не стоит забывать о двух факторах. Первый всецело зависит от типа и модели выбранного вами оборудования, а точнее от скорости откачки и величины остаточного и стартового давления ионного насоса. Второй же фактор обусловлен проницаемостью и газовыделением полимерных прокладок, используемых в вакуумных системах при определённом уровне вакуума. В этом случае необходимо использовать металлические прокладки. Поскольку эта тема для отдельной статьи, то не будем останавливаться на ней подробно. Однако упомянуть её стоит, поскольку ошибка в данном случае сведёт на нет все усилия по созданию сверхвысокого вакуума, и даже вакуумное оборудование премиум-класса не сможет на 100% выполнять свои функции.

Завершая краткий обзор вакуумного оборудования, применяемого в электронной микроскопии, заметим, что в современной наукоёмкой промышленности требуется высокое разрешение при проведении анализа и испытаний. Также немаловажным требованием является высокая скорость проведения исследований.

Наша компания предлагает вам не только широкий выбор моделей насосов Agilent для создания высокого, среднего и сверхвысокого вакуума, специально предназначенных для выполнения исследования и анализа поверхностей с помощью электронной микроскопии, но и обеспечивает максимальный уровень сервисной поддержки для эффективного решения стоящих перед вами технологических и аналитических задач.

Сформировать предложение:


Имя * Введите имя
Фамилия * Введите фамилию
Отчество Введен недействительный тип данных
E-mail * Введите емайл
Телефон * Допустимы только цифры
Организация * Введите название организации
Сообщение Введите сообщение
Введите код с картинки * Введите код с картинки
  Перезагрузить Введен недействительный тип данных

Анонсы

  •  

    Течеискатели Agilent серии HLD с начала 2020 года были зарегистрированы в Государственном реестре средств измерений.

    Подробнее
  • Турбомолекулярный насос — важнейшая ступень при создании и поддержки давления так называемого «высокого» и «сверхвысокого» вакуума: в диапазоне от 10-4 до 10-10 мбар.

    Подробнее
Все новости и анонсы